芯片生产设备功能:通过二极溅射中一个平行于靶表面的封闭磁场,和靶表面上形成的正交电磁场,把二次电子束缚在靶表面特定区域,实现高离子密度和高能量的电离,把靶原子或分子高速率溅射沉积在基片上形成薄膜。

        主要企业品牌:

        国际:美国公司、美国amat公司、美国pvd公司、荷兰公司、英国teer公司、瑞士ptit公司、瑞士公司、德国ceme公司。

        国内:中国电子科技集团第四十八所、北京仪器厂、沈阳中科仪器、成都南光实业股份有限公司、科睿设备有限公司、上海机械厂。

        14、化学机械抛光机

        设备功能:通过机械研磨和化学液体溶解“腐蚀”的综合作用,对被研磨体半导体进行研磨抛光。

        主要企业品牌:

        国际:美国公司、美国诺发系统公司、美国rtec公司。

        国内:兰州兰新高科技产业股份有限公司、爱立特微电子。

        15、引线键合机

        内容未完,下一页继续阅读